革新的なMEMSを駆使し従来技術では困難、不可能な新型RFデバイスを開!!

超小型・高性能・低電力RF MEMSデバイス

開発・技術動向応用事例及び今後課題・展開

携帯電話、携帯端末、RFID、無線LAN、ミリ波機器・装置等の軽薄短小、高性能・高機能、低電力、低価格化を実!!

■日時 2月2日(木)     ■会場 メディアボックス会議室     ■受講料 1名につき 39,000円

9:40〜16:45      東京都新宿区西新宿1-9-18       (消費税込み、テキスト・昼食代含む)

RF MEMS技術/デバイスの最新動向と開発・応用例及び今後の展望

国際標準化工学研究所

所長

 

大和田 邦樹

 

2月2日 9:40〜11:10

  1.RF MEMSとは

       (1) RF MEMSの定義  (3) RF MEMSの歴史

       (2) RF MEMSの構造例  (4) RF MEMSの利点

  2.RF MEMSの基礎技術

       (1) RF MEMSの設計技術  (2) RF MEMSのプロセス技術

  3.RFスイッチ開発の現状

       (1) RF MEMSスイッチの分類  (3) RF MEMSスイッチの開発例

       (2) RF MEMSスイッチの構造

  4.チューナブルフィルタ開発の現状

       (1) チューナブルフィルタの分類  (3) チューナブルフィルタの開発例

       (2) チューナブルフィルタの構造

  5.RF MEMSの応用例

  6.実用化に向けた課題

  7.今後の展開

LSIメーカにみるRF MEMSデバイスの取り組みと開発・技術動向及び今後の展望

鞄月ナ セミコンダクター社

SoC研究開発センター

高性能CMOSデバイス技術開発部主査

 

大黒 達也

 

2月2日 11:20〜12:50

  1.CMOSが直面している問題

       (1) 高性能化への最新技術

       (2) CMOSの限界について

  2.LSIメーカにとって魅力的なMEMSとは

       市場分析

  3.RF MEMS開発のポイント

       (1) 動作原理

       (2) 要素技術

       (3) 実装技術

  4.MEMSの今後の展望

富士通研究所におけるRF MEMSデバイスの開発・技術動向と応用事例及び今後の課題

兜x士通研究所

フェロー

 

佐藤 良夫

 

2月2日 13:30〜15:00

  1.開発の背景

       (1) 富士通研究所の紹介と保有技術

       (2) RF MEMSデバイス開発の背景

  2.FBARフィルタの開発

       (1) 圧電薄膜の選択と製造法

       (2) 電極膜の選択

       (3) キャビティ構造の改善

       (4) 低損失なフィルタ設計法

       (5) 特性評価及びSAWフィルタとの比較

       (6) 共振子のQ値の評価について

  3.RFスイッチの開発

       (1) 構造の特徴と特性、今後の課題

       (2) 応用例

  4.可変キャパシタの開発

       (1) 構造の特徴と特性、今後の課題

       (2) 応用例

RF MEMS開発環境の最新動向とデバイス設計技術・事例及び今後の展開

コベンター社

シニアアプリケーションエンジニア

 

前木場 秀之

 

2月2日 15:15〜16:45

  1.MEMS用解析ツールの分類マトリックス

       (1) システム設計

       (2) デバイス設計

            機械解析

            RF解析

       (3) プロセス設計

  2.RF MEMSデバイスの解析事例

       (1) RF MEMSスイッチ・マイクロリレー

            シャント型スイッチ

            シリーズ型スイッチ

            磁気駆動マイクロリレー

       (2) インダクタ・キャパシタ、VCO

       (3) FBAR

       (4) パッケージ

  3.解析ソフト仕様のポイント

       (1) 機械解析

       (2) RF解析

 

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