革新的なMEMS技術を駆使した画期的な新型RFデバイスの開発が相次!!

RF-MEMSデバイス/開発環境

最新動向設計技術・応用例及び今後課題・展開

携帯電話、携帯端末、RFID、無線LAN、ミリ波機器等の軽薄短小、高性能・高機能、低電力、低価格化を実!!

■日時 8月31日(木)     ■会場 メディアボックス会議室     ■受講料 1名につき 39,000円

9:40〜16:40       東京都新宿区西新宿1-9-18        (消費税込み、テキスト・昼食代含む)

RF-MEMS開発環境の最新動向とデバイス設計技術・事例及び今後の展開

コベンター社

シニアアプリケーションエンジニア

 

前木場 秀之

 

8月31日 9:40〜11:10

  1.MEMS用解析ツールの分類マトリックス

       (1) システム設計

       (2) デバイス設計

            機械解析

            RF解析

       (3) プロセス設計

  2.RF MEMSデバイスの解析事例

       (1) RF MEMSスイッチ・マイクロリレー

            シャント型スイッチ

            シリーズ型スイッチ

            磁気駆動マイクロリレー

       (2) インダクタ・キャパシタ、VCO

       (3) FBAR

       (4) パッケージ

  3.解析ソフト仕様のポイント

       (1) 機械解析

       (2) RF解析

富士通研究所におけるRF-MEMSデバイスの開発・技術動向と応用例及び今後の課題

兜x士通研究所

フェロー

 

佐藤 良夫

 

8月31日 11:20〜12:50

  1.開発の背景

       (1) 富士通研究所の紹介と保有技術

       (2) RF-MEMSデバイス開発の背景

  2.FBARフィルタの開発

       (1) 圧電薄膜の選択と製造法

       (2) 電極膜の選択

       (3) キャビティ構造の改善

       (4) 低損失なフィルタ設計法

       (5) 特性評価及びSAWフィルタとの比較

       (6) 共振子のQ値の評価について

  3.RFスイッチの開発

       (1) 構造の特徴と特性、今後の課題

       (2) 応用例

  4.可変キャパシタの開発

       (1) 構造の特徴と特性、今後の課題

       (2) 応用例

RF-MEMSスイッチ/MEMS技術を用いたミリ波用アンテナの研究・技術動向と開発事例及び今後の展望

京都大学

大学院工学研究科

マイクロエンジニアリング専攻教授

 

小寺 秀俊

 

8月31日 13:40〜16:40

  1.MEMSの歴史とRF-MEMS

  2.RF-MEMSの研究の現状

  3.MEMSスイッチの構造

  4.圧電型RF-MEMSスイッチ

  5.ミリ波用アンテナの要件

  6.ミリ波アンテナ研究開発事例

       (1) パッチアンテナタイプ

       (2) 誘電率の変化を用いたM3アンテナ

  7.まとめ

 

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